沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统

专利申请权、专利权的转移

摘要

本申请实施例提供沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统。其中，该沉积槽包括：U型槽以及用于吸附衬底的吸附件，其中，所述U型槽的一端开有进料口，所述U型槽的另一端开有出料口；所述U型槽的槽底设有所述吸附件，所述U型槽的两个槽壁用于与衬底的侧边贴合。通过本申请实施例提供的沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统，能够在保证对柔性衬底的沉积的基础上，有效降低了沉积槽的结构复杂性，进而大幅度降低了沉积槽的生产成本。与此同时保证了在卷对卷生产过程中，柔性衬底运行的过程中紧紧贴附于沉积区域，保持柔性衬底的平坦性和反应温度的均匀控制。

基本信息

专利标题：

沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920539015.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-19

授权号：

CN209843735U

授权日：

2019-12-24

发明人：

张德忠王雪戈

申请人：

北京铂阳顶荣光伏科技有限公司

申请人地址：

北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920539015.3

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 C23C18/00