一种晶圆盒双轴联动输送机构
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种晶圆盒双轴联动输送机构,包括机架、载料盘、双轴滑移组件以及交替托抬组件,双轴滑移组件包括X轴滑移组件和Y轴滑移组件,X轴滑移组件包括X轴滑移气缸、X轴滑轨、X轴导杆以及交替托抬组件,交替托抬组件固定在X轴滑移气缸上,包括顶升气缸、连接板、抬架以及承托盘,承托盘通过固定板连接,下端连接伸缩气缸,伸缩气缸底座固连有支架,支架两端分别固连有Y轴滑移组件和滑块。该晶圆盒双轴联动输送机构利用X轴滑移组件和Y轴滑移组件构成的双轴联动动作,通过抬架上下左右位移动作将晶圆盒进行抬升移送,再由承托盘承载晶圆盒供料,由下一工位的机械手抓料,自动化程度高,实用方便,适用性强。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆盒双轴联动输送机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920697770.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-16
授权号 :
CN210192747U
授权日 :
2020-03-27
发明人 :
杨仕品
申请人 :
昆山市智程自动化设备有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市玉山镇玉城中路58号
代理机构 :
苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
朱丹
优先权 :
CN201920697770.4
主分类号 :
B65G47/90
IPC分类号 :
B65G47/90
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置;使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
法律状态
2020-12-29 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B65G 47/90
变更事项 : 专利权人
变更前 : 昆山市智程自动化设备有限公司
变更后 : 智程半导体设备科技(昆山)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉城中路58号
变更后 : 215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
变更事项 : 专利权人
变更前 : 昆山市智程自动化设备有限公司
变更后 : 智程半导体设备科技(昆山)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉城中路58号
变更后 : 215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
2020-03-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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