一种晶圆腐蚀抛动机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆腐蚀抛动机构，包括，升降气缸固定座，所述升降气缸固定座固定设置在抛动机构前板的上端，所述升降气缸固定座下端固定连接升降气缸，所述升降气缸的下端固定连接抛动电机固定座，所述抛动电机固定座上端固定连接抛动电机，所述抛动电机的输出端连接抛动偏心轮，所述抛动偏心轮通过转轴与抛动臂连接，所述抛动臂与产品固定座固定连接，所述抛动臂与抛动滑块固定连接，抛动滑块与抛动导轨滑动连接，所述抛动机构前板的正面可拆卸安装有抛动机构检修口，所述抛动电机固定座滑动连接升降导轨，所述升降导轨固定设置在所述抛动机构前板的内部。本设备体积小巧，抛动机构整体处于一个密闭空间，有效做到防腐蚀。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆腐蚀抛动机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920737584.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-22
授权号 ：
CN210304821U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
刘金升沙永健
申请人 ：
苏州施密科微电子设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区太平街道聚金路5号
代理机构 ：
苏州智品专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
吕明霞
优先权 ：
CN201920737584.9
主分类号 ：
B08B3/10
IPC分类号 ：
B08B3/10 B08B3/04 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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