一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路

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摘要

一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路，包括纯水抛光系统和抛光液抛光系统和主管道，纯水抛光系统包括第一管道和与第一管道并联的第二管道，第一管道上设置有大流量气动阀，第二管道上设置有小流量气动阀，纯水分别通过纯水大流量气动阀和小流量气动阀汇入设置有第一流量计的第三管道；抛光液抛光系统包括第四管道和设置在第四管道上的抛光液调节阀和第一单向阀；第三管道和第四管道汇入主管道，主管道上设置有主气动阀、第二流量计和第一温度探头。本实用新型有效解决了抛光机抛光液过滤器出口到主转盘中心管处结晶的形成，结构简单，安装操作方便，安全性稳定性好，经实践验证，降低了设备故障率，增强了工艺稳定性，明显地提高了产品收率。

基本信息

专利标题：

一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920773233.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-27

授权号：

CN210255747U

授权日：

2020-04-07

发明人：

郭光灿马龙峰贾波范强

申请人：

麦斯克电子材料有限公司

申请人地址：

河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号

代理机构：

洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)

代理人：

王学鹏

优先权：

CN201920773233.3

主分类号：

B24B57/02

IPC分类号：

B24B57/02