一种用于化学机械抛光机抛光液的供给装置

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摘要

本实用新型公开了一种用于化学机械抛光机抛光液的供给装置，包括料液箱、循环泵、进料组件和支撑架；料液箱位于抛光装置的下方；料液箱顶部与从抛光装置引出的回流管相连，回流管上设有回流阀；循环泵进口与料液箱相连，出口与进料组件相连；进料组件包括旋转盘、进料盘、电机和挡板；进料盘位于旋转盘的上方，进料盘开设有贯穿进料盘的进料通道，进料通道进口与循环管路相连，出口靠近旋转轴设置；进料盘外缘还连接有环形挡板；旋转盘通过旋转轴与电机相连。本实用新型的用于化学机械抛光机抛光液的供给装置，抛光液供给质量稳定，抛光液浓度和pH值波动小，抛光液中的研磨颗粒分布均匀，抛光料液在抛光装置中分布均匀，且无气泡产生。

基本信息

专利标题：

一种用于化学机械抛光机抛光液的供给装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921849443.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-30

授权号：

CN211332778U

授权日：

2020-08-25

发明人：

孙韬

申请人：

宁波日晟新材料有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村

代理机构：

宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

朱玉泉

优先权：

CN201921849443.2

主分类号：

B24B57/02

IPC分类号：

B24B57/02