一种具有超声波清洁功能的抛光液供应系统
公开
摘要
本发明提供一种具有超声波清洁功能的抛光液供应系统，其结构包括管路、容器、定位座、电机、超声波振子，管路插入于容器的侧方下端部位，本发明由容器所进一步改进后，其可在容器进行养护时先向容器内部注入相应的纯水，再者利用超声波振子的超声波功能，达到两者相互搭配使其能够利用超声波与纯水的加持下能够将内部结晶进行快速剥落，同时腔体下端两侧辅助块可使结晶剥落后进行集中在中心点当中，进而能够防止结晶掉落处于零碎分散状态，并且根据所新增的清刷架构能在超声波振子运作过程不断在外壳内壁当中进行上下循环运动，使其能进一步的将内壁进行清刷，加快结晶的掉落速度以及进一步的提升腔体内的洁净程度，减少养护时长。
基本信息
专利标题 ：
一种具有超声波清洁功能的抛光液供应系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114571366A
申请号 ：
CN202210231986.8
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
丁玉王永成
申请人 ：
上海致领半导体科技发展有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区创业路369弄1-68号20幢3层301室
代理机构 ：
上海互顺专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
韦志刚
优先权 ：
CN202210231986.8
主分类号 ：
B24B57/02
IPC分类号 ：
B24B57/02 B24B57/00 B24B55/00 B08B9/08 B08B9/087
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
B24B57/02
流体的，喷射的，雾化的或液化的磨削剂，抛光剂，或研磨剂的送进
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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