用于供应功能水的系统和方法
授权
摘要
提供了一种用于将功能水提供至处理单元的供应系统，该处理单元使用所述功能水来处理衬底。在该系统中，在功能水生成器中生成的功能水通过功能水输送管提供至分配器。之后，在处理单元执行处理时，将功能水提供至处理单元，而在处理单元未执行处理时，功能水通过功能水回流管返回至功能水生成器。在功能水输送管中安装有缓冲罐，功能水的浓度在与缓冲罐相连的循环管路中进行测量。当所测量的功能水浓度未处于设定的浓度范围内时，功能水通过功能水回流管返回至功能水生成器。
基本信息
专利标题 ：
用于供应功能水的系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1834526A
申请号 ：
CN200610065512.1
公开（公告）日 ：
2006-09-20
申请日 ：
2006-03-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金柱元安斗根崔光一郑平淳崔勇男裵正龙
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道天安市
代理机构 ：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
余朦
优先权 ：
CN200610065512.1
主分类号 ：
F17D1/08
IPC分类号 ：
F17D1/08 F17D3/01 F17D3/12
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/08
用于液体或黏性物质的
法律状态
2009-01-14 ：
授权
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN1834526A.PDF
PDF下载
2、
CN100451440C.PDF
PDF下载
