本实用新型涉及半导体刻蚀设备技术领域，公开了一种钟摆阀，包括阀板组件，阀板组件包括阀板、阀腔以及定型螺柱，在阀腔的内底壁上设置有承接件，定型螺柱能够与承接件螺纹配合以将阀板固定在二者之间。阀板组件还包括：驱动件，用于驱动定型螺柱转动；控制单元，与驱动件通信连接，控制单元能够控制驱动件的动作。本实用新型的阀板组件能够在将阀板放置于阀腔内的正确位置后，自动旋拧定型螺柱，将阀板固定在阀腔内，减轻作业人员的劳动强度、提高生产效率的同时，能够将阀板锁紧在阀腔中，提高真空腔体的压力稳定，进而提高真空腔体的工作效率。