一种芯片生产用除尘装置
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种芯片生产用除尘装置,包括横板,所述横板的底部外壁四角均设置有支撑腿,且支撑腿的底部外壁均固定有移动机构,两个支撑腿的一侧外壁设置有同一个支撑板,所述横板的顶部外壁设置有吸尘机构,且横板的底部外壁焊机有粉尘处理箱,所述粉尘处理箱的底部外壁和两个支撑板的一侧外壁均设置有吸尘罩,且粉尘处理箱的底部内壁放置有毒气处理机构,所述粉尘处理箱的内壁两侧设置有同一个活性炭吸附层。本实用新型通过设置有支撑板和吸尘罩,同时在左右两侧和装置的顶部均设置有吸尘罩,可以同时对这三个方位进行吸尘操作,可有效提高装置的吸尘效率,有效防止残留的细微药物粉尘对操作人员的危害。

基本信息
专利标题 :
一种芯片生产用除尘装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920796637.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-30
授权号 :
CN210207925U
授权日 :
2020-03-31
发明人 :
张益铭
申请人 :
上海芯强微电子股份有限公司
申请人地址 :
上海市静安区南京西路1486号3号楼422室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920796637.4
主分类号 :
B08B5/04
IPC分类号 :
B08B5/04  B08B13/00  A61L2/10  B01D49/00  B01D53/02  B01D53/00  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/04
用带或不带辅助动作的抽气来清洁
法律状态
2022-05-17 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B08B 5/04
申请日 : 20190530
授权公告日 : 20200331
终止日期 : 20210530
2020-03-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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