一种气体质量流量传感器及传感器阵列
授权
摘要
本实用新型实施例公开了一种气体质量流量传感器及传感器阵列，能够减少引线损伤。所述传感器包括：第一衬底、气体流量检测组件、所述气体质量流量传感器的多个第一引脚及封装盖帽，其中：气体流量检测组件直接或间接与第一引脚电连接，气体流量检测组件和第一引脚设置在第一衬底的同一面；封装盖帽的第一表面开设有凹槽，第一表面为朝向第一衬底的表面，封装盖帽上除第一表面外的其他表面上开设有进气口和出气口，进气口和所述出气口分别与凹槽连通形成气体流道；封装盖帽键合在第一衬底上，气体流量检测组件位于气体流道内，第一引脚裸露在封装盖帽之外。本实用新型实施例传感器信号稳定、噪声小，同时简化加工工艺，降低制造周期和成本。
基本信息
专利标题 ：
一种气体质量流量传感器及传感器阵列
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920814578.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-31
授权号 ：
CN209745339U
授权日 ：
2019-12-06
发明人 ：
许磊彭书峰陈栋梁荣钱周睿颖
申请人 ：
合肥微纳传感技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室
代理机构 ：
北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人 ：
解婷婷
优先权 ：
CN201920814578.9
主分类号 ：
G01F1/86
IPC分类号 ：
G01F1/86
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/76
测量流体或流动固体材料质量流量的装置
G01F1/86
间接式质量流量计，例如，测量流量、密度、温度或压力
法律状态
2019-12-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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