一种源漏轻掺杂异质栅石墨烯纳米条带场效应管
授权
摘要
本实用新型公开了一种源漏轻掺杂异质栅石墨烯纳米条带场效应管，包括源区、漏区、沟道、栅氧化层及双栅极；栅极包括栅极两端和栅极中间，栅极两端功函数与栅极中间功函数不同；沟道为石墨烯纳米管，位于源区和漏区之间，源区和漏区均包括N型重掺杂区和扩展区，扩展区靠近石墨烯纳米管，N型重掺杂区远离石墨烯纳米管，源扩展区与漏扩展区均为N型轻掺杂；栅氧化层位于石墨烯纳米管两侧，双栅极位于栅氧化层外侧。本实用新型减少了器件性能下降，具有更大的电流开关比，迟滞时间更短，亚阈值摆幅更小，电压增益更高的源漏轻掺杂异质栅石墨烯纳米条带场效应管。
基本信息
专利标题 ：
一种源漏轻掺杂异质栅石墨烯纳米条带场效应管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920838966.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-04
授权号 ：
CN209626230U
授权日 ：
2019-11-12
发明人 ：
张闻睿渠开放王伟
申请人 ：
南京邮电大学
申请人地址 ：
江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
吕朦
优先权 ：
CN201920838966.0
主分类号 ：
H01L29/78
IPC分类号 ：
H01L29/78 H01L29/08
法律状态
2019-11-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
