本实用新型提供了一种微机电致动器、摄像头模组和电子设备，微机电致动器包括大约设置在同一个平面内的外框、载台、十字形支架、驱动件和运动件，外框中部开口而形成第一镂空空间，载台容置在第一镂空空间，并与外框可移动连接；载台中部开口而形成第二镂空空间，十字形支架、驱动件和运动件容置在第二镂空空间，外框和十字形支架用于固定至基板，驱动件固设于十字形支架上，运动件一部分连接在载台上，另一部分连接在十字形支架上；驱动件驱动运动件移动，运动件移动而带动载台移动，感光芯片跟随移动，从而使得感光芯片与摄像头模组的镜头对准。本实用新型的移动感光芯片的方案对抖动的反应时间短，灵敏度高。