本实用新型公开了一种旋转冲洗甩干机控制系统，包括电机、电机驱动器、编码器、主控模块、检测单元、开关单元、阀门单元、加热单元和用于供电的电源模块，电机与电机驱动器相连，编码器分别连接电机和电机驱动器，电机驱动器、检测单元、开关单元和加热单元分别与主控模块相连。本技术方案通过主控模块对电机的控制实现旋转甩干功能，通过主控模块对加热单元的控制实现烘干功能，通过检测单元对主控模块的反馈实现各项监控功能，通过主控模块对阀门单元的控制实现冲洗、加压、自清洁功能，通过开关单元保证系统运行过程中的稳定性和安全性；整套系统能够实现对半导体晶片冲洗甩干过程的全自动控制，并且功能完善，对半导体晶片的清洁效果好。