本实用新型提供一种用于控制气氛中极低氧含量并测量其氧分压的装置，属于氧分压测量装置技术领域。该装置包括脱氧炉、氧分压测量装置，其中高纯氩气或氮气等混合气体经过脱氧炉后得到极低氧分压气体，极低氧分压气体加热后在氧分压测量装置中通过石英套管在稳定性氧化锆定氧探头表面形成氧浓差电池，取得微小电压信号，传输到PC端计算得到氧分压数据。与其他氧分压测量装置相比，本装置具有更高的测量精度，同时脱氧炉可以有效降低高纯气体中的氧分压，保证实验与生产过程中对氧分压的精确控制。