一种用于半导体行业的废气处理系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于半导体行业的废气处理系统，包括用于过滤废气的沸石转轮以及用于催化燃烧有机物的催化直燃炉，沸石转轮包括吸附区与脱附区，吸附区连接有用于将废气输送至吸附区内进行过滤并将过滤后的废气输送至烟囱排放的第一风机，脱附区连接有用于向脱附区内输入气流并将脱附区内的废气输送至催化直燃炉的第二风机，脱附区的入口连接有用于加热输送至脱附区的气流的加热装置，催化直燃炉的出口用于连通烟囱以排放燃烧后的气体。采用了吸附加催化燃烧法对废气进行处理，催化燃烧可在较低的温度下实现VOCs完全氧化，因此在提高废气处理效果的同时，降低了废气的处理的能耗，且具体设备简单、能耗低、安全性能高。
基本信息
专利标题 ：
一种用于半导体行业的废气处理系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920911012.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-17
授权号 ：
CN210186776U
授权日 ：
2020-03-27
发明人 ：
张伟明章强兵
申请人 ：
上海盛剑环境系统科技股份有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区德富路1198号太湖世家国际大厦25F
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡素莉
优先权 ：
CN201920911012.8
主分类号 ：
B01D53/06
IPC分类号 ：
B01D53/06 F23G7/07 B01D46/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
B01D53/06
用运动的吸附剂
法律状态
2020-03-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
