本发明提供一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，包括：腐蚀监测子系统，所述腐蚀监测子系统包括检测带，所述检测带用以安装于所述处理设备的腔体的焊接部位；堵塞监测子系统，所述堵塞监测子系统包括光电传感器，所述光电传感器用以安装于所述处理设备的管道的易堵塞位置；信息处理显示子系统，所述信息处理显示子系统分别与所述检测带和所述光电传感器连接。本发明实现检测带对腔体的焊接部位的腐蚀渗漏的定点实时监测，光电传感器对管道的易堵塞位置的定点实时监测，信息处理显示子系统采集、处理并显示监测信息，提高对腐蚀点和堵塞位置的精准监测判定，保证监测信息的实时性和准确性，提高维护效率和设备运行的安全性。