本实用新型公开了一种用于对半导体废气进行处理的净化设备，包括反应室、净水箱、冷却塔及第一水泵，本方案中改进结构，在净水箱上固定反应室及冷却塔，在净水箱内下部一侧固定隔离箱，隔离箱侧面开口并固定过滤板，隔离箱上方箱壁安装喷头，净水箱内喷头水洗自反应室进入的气体，冲洗后水液自隔离箱开口处过滤板进入隔离箱内，并在隔离箱内安装液位计、进水管及第二水泵，并在临近过滤板的净水箱壁排污口处安装第三水泵，当过滤板处因颗粒物受堵，第一水泵抽水导致隔离箱内液面下降，液位计变化，第二、第三水泵启动，以第三水泵将过滤板处颗粒物随水抽出，第二水泵补水并使隔离箱内水液反向冲洗过滤板，使净化设备高效稳定运行。