一种具有铝回收功能的半导体废气处理设备及废气处理方法
公开
摘要
本发明公开了一种具有铝回收功能的半导体废气处理设备及废气处理方法,属于半导体废气处理设备技术领域,通过将万向轮移动至铝焊接工艺部处,并启动第一电动升降杆调节固定框架的高度适应操作台的高度,依据操作工的人数将不同的横向连接筒进行连接构成多组吸铝烟罩对铝气进行针对性吸收,拉动第二柔性金属管将连接方框固定在半导体成型模具壳体的外侧并与模具壳体连通,启动驱动电机调节主动工型轮带动传送皮带运动,通过传送皮带带动从动工型轮运动,通过从动工型轮带动吸烟风机转动,通过吸烟风机对铝气以及其他废气进行吸收,并通过铝烟吸收框和废气吸收框进行分类吸收,铝气通过铝烟吸收框和铝烟回收框。
基本信息
专利标题 :
一种具有铝回收功能的半导体废气处理设备及废气处理方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114558412A
申请号 :
CN202210235519.2
公开(公告)日 :
2022-05-31
申请日 :
2022-03-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
崔汉博崔汉宽
申请人 :
崔汉博
申请人地址 :
上海市浦东新区康桥路957号12幢4层
代理机构 :
南京北辰联和知识产权代理有限公司
代理人 :
陆中丹
优先权 :
CN202210235519.2
主分类号 :
B01D53/00
IPC分类号 :
B01D53/00 B01D46/12 B01D46/00 B01D46/42 B01D46/68 B08B15/00 F28D21/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离;从气体中回收挥发性溶剂的蒸气;废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2022-05-31 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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