本发明涉及废气处理领域，提供一种半导体废气处理设备及其控制方法、装置。半导体废气处理设备包括废气进口；废气出口，与废气进口流体连通；喷淋装置，设置于废气进口和废气出口之间以对废气喷淋降温；冷源，安装于于喷淋装置和/或喷淋装置与废气出口之间。该半导体废气处理设备通过在喷淋装置的位置处设置冷源，能够降低喷淋装置喷淋出的喷淋液的温度，进而能够降低废气的温度。通过在喷淋装置与废气出口之间设置冷源，能够使得冷源对喷淋装置和废气出口之间的区域进行降温，进而能够降低经过喷淋装置的废气的温度，同时还能够对喷淋装置和废气出口之间的区域提前进行冷凝处理，防止废气进入排气管后形成冷凝水。