一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔
授权
摘要
本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔，涉及半导体行业废气处理技术领域，包括与车间废气处理设备水箱连接用的连接管，所述连接管上端卡箍连接水洗塔，所述水洗塔上设有数个水管连接头，本实用新型通过设置上层水洗塔、中层水洗塔、下层水洗塔，使得本装置拆卸、维护更加方便，通过设置溢流装置，给溢流装置通过设置上的水管连接车间自来水源，自来水进入溢流腔，随溢流口流入下连接件、中层水洗塔和下层水洗塔的内壁，从而对有污垢的塔壁进行水洗，通过在上层水洗塔上设置新风组合件，使得对上层水洗塔进行通风，减少了出口水气过多。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920702329.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-16
授权号 ：
CN210473502U
授权日 ：
2020-05-08
发明人 ：
章文军杨春水宁腾飞陈彦岗杨春涛王继飞张坤闫萧蔡传涛席涛涛王磊
申请人 ：
安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室
代理机构 ：
芜湖思诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
郑直
优先权 ：
CN201920702329.0
主分类号 ：
B01D53/18
IPC分类号 ：
B01D53/18 B01D53/14 B01D47/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/14
通过吸收作用
B01D53/18
吸收装置；其中的液体分配器
法律状态
2020-05-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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