一种应用于半导体废气处理设备的循环水箱
授权
摘要
本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的循环水箱，涉及半导体行业废气清洁技术领域，包括水箱本体，所述水箱本体包括箱体和盖板，所述盖板上设有水洗塔连接口、反应腔连接口以及水泵架，所述水泵架上设有立式水泵，所述立式水泵连接有与废气处理设备中水洗塔连接的循环管路，本实用新型的箱体通过设置前维护窗口和左维护窗口，使得方便了观察箱体内部情况，方便了维护，箱体材质选择耐酸碱材料，使用寿命长，通过设置过滤板，使得箱体内大颗粒脏污被过滤板过滤，有利于立式水泵维护运行且不易损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于半导体废气处理设备的循环水箱
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920697383.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-16
授权号 ：
CN210473564U
授权日 ：
2020-05-08
发明人 ：
章文军杨春水宁腾飞陈彦岗杨春涛王继飞张坤闫萧蔡传涛席涛涛王磊
申请人 ：
安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室
代理机构 ：
芜湖思诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
郑直
优先权 ：
CN201920697383.0
主分类号 ：
B01D53/78
IPC分类号 ：
B01D53/78 B01D53/75
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/77
液相方法
B01D53/78
利用气—液接触
法律状态
2020-05-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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