一种半导体行业废气处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体行业废气处理装置，涉及工业废气处理技术领域，该半导体行业废气处理装置，包括：过滤箱，其内部形成供废气流通处理的腔室；至少一组过滤板，其沿过滤箱上设置的安装槽垂直插装在过滤箱的腔室内，且过滤板边缘抵接在腔室的壁面上，过滤板由安装架以及固定在安装架底部双层叠加以过滤水分和粉尘的孔板和过滤棉组成，且过滤棉可拆卸安装在孔板上；以及，箱门，其设置在过滤板安装入口位置。本实用新型通过设置过滤箱、过滤板和箱门，腔室空间大、无死角、清洁入口大、过滤板可拆卸、孔板结构简单且过滤棉可拆卸更换，过滤棉拆卸、安装操作方便，解决了用于废气粉尘过滤的过滤器结构过于复杂，不易清洗、更换的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体行业废气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123070452.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
CN216677499U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
陶玉珊
申请人 ：
江苏诺邦环保科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区蠡园开发区标准厂房A4五层东
代理机构 ：
无锡嘉驰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
贾传美
优先权 ：
CN202123070452.1
主分类号 ：
B01D46/88
IPC分类号 ：
B01D46/88 B01D46/56 B01D46/64 B01D46/10 B01D46/30
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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