一种利用超临界流体批量清洗超高纯气体钢瓶的系统

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摘要

本实用新型公开的是一种利用超临界流体批量清洗超高纯气体钢瓶的系统，包括依次连通的超临界二氧化碳补充管路、高纯气钢瓶清洗管路、有机杂质解析排放管路，二氧化碳补充管路提供超临界的二氧化碳进入高纯气钢瓶清洗管路实现对气钢瓶批量清洗，从高纯气钢瓶清洗管路出来的二氧化碳进入有机杂质解析排放管路，通过有机杂质解析排放管路实现将溶解于二氧化碳中的有机杂质析出，定期排出，有机杂质解析排放管路的常温常压二氧化碳再接入二氧化碳补充管路，进行循环，本实用新型可快速清除钢瓶内壁面附着的有机杂质，具有处理时间短、一次处理钢瓶量多、能耗低的特点，可以避免了常规高温烘烤对高纯气瓶带了的潜在破坏等技术特点。

基本信息

专利标题：

一种利用超临界流体批量清洗超高纯气体钢瓶的系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920936957.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-21

授权号：

CN210280052U

授权日：

2020-04-10

发明人：

袁士豪何晖李冬锋李剑锋朱程浩任美凤

申请人：

杭州杭氧股份有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市临安市青山湖街道相府路799号

代理机构：

浙江纳祺律师事务所

代理人：

郑满玉

优先权：

CN201920936957.5

主分类号：

B08B7/00

IPC分类号：

B08B7/00 B08B9/08