制备防炫光玻璃的蚀刻系统

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摘要

一种制备防炫光玻璃的蚀刻系统，所述蚀刻系统内呈真空状态，所述蚀刻系统包括：第一电源；电极装置，设置于玻璃基板的一侧以驱动等离子撞击于玻璃基板上；供气源，用以与电极装置相连通以提供气体原子；所述电极装置形成有容纳腔且包括：阳极板和阴极板，均平行设置与玻璃基板的一侧且阳极板更靠近玻璃基板设置，所述阳极板和阴极板分别与第一电源的正极和负极电性连接以提供电子；所述阳极板上开设有连通容纳腔的出口以让等离子通过，所述阴极板上开设有连通容纳腔和供气源的入口；第一磁板和第二磁板，磁极相反且连接于阳极板和阴极板之间，所述第一磁板和第二磁板垂直于阳极板设置以驱动电子运动并撞击气体原子以形成等离子。

基本信息

专利标题：

制备防炫光玻璃的蚀刻系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920939508.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-21

授权号：

CN210123717U

授权日：

2020-03-03

发明人：

吴克坚王震宇

申请人：

苏州加拉泰克动力有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区石阳路9号

代理机构：

苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

郭红岩

优先权：

CN201920939508.6

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32