一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具

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摘要

本实用新型提供一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具，包括调整装置和量取装置，量取装置包括量取盘、水平泡和定位杆，量取盘的内部还设有供定位杆通过的通道，调整装置包括调节机构、定位机构和连接机构，调节机构包括固定柱、调节螺帽、环套和固定环，固定柱为圆柱形，调节螺帽的外壁还设有一环形凹槽，环形凹槽内设有环套，环套通过固定环连接连接机构；连接机构包括连接杆和连接环，连接杆通过连接环铰接于固定环和定位机构；定位机构包括阻块和固定铰支座，阻块通过固定铰支座连接于连接环，阻块底面还连接定位杆。本实用新型弥补了Notch角硅单晶棒水平晶向无法物理测量定位的缺陷。

基本信息

专利标题：

一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920963717.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-25

授权号：

CN210036568U

授权日：

2020-02-07

发明人：

张亮崔小换张倩

申请人：

麦斯克电子材料有限公司

申请人地址：

河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号

代理机构：

洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)

代理人：

罗民健

优先权：

CN201920963717.4

主分类号：

G01B5/24

IPC分类号：

G01B5/24 G01B5/00