一种基于局域表面等离激元效应的深紫外MSM探测器
授权
摘要
本实用新型提供一种基于局域表面等离激元效应的深紫外MSM探测器，其结构从下至上包括：衬底、缓冲层、超短周期超晶格及金属电极；超短周期超晶格包括设置在超短周期超晶格的纳米孔阵，以及金属纳米颗粒；金属纳米颗粒注入在纳米孔阵空隙或沉积于超短周期超晶格上表面，颗粒尺寸可调控；金属电极设置在超短周期超晶格上，形成肖特基接触。本实用新型通过在有序分布的纳米孔阵中形成金属纳米颗粒再在其上设置金属电极，避免了超短周期超晶格吸收层载流子隧穿能力较弱问题，又利用产生的局域表面等离激元效应，增强深紫外光的吸收，最终提高深紫外MSM探测器的量子效率。
基本信息
专利标题 ：
一种基于局域表面等离激元效应的深紫外MSM探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921000730.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN210245515U
授权日 ：
2020-04-03
发明人 ：
高娜朱啟芬冯向黄凯康俊勇
申请人 ：
厦门大学
申请人地址 ：
福建省厦门市思明南路422号
代理机构 ：
厦门市首创君合专利事务所有限公司
代理人 ：
张松亭
优先权 ：
CN201921000730.6
主分类号 ：
H01L31/0352
IPC分类号 ：
H01L31/0352 H01L31/108 H01L31/18 G02B5/00 B82Y30/00
法律状态
2020-04-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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