氮化铝陶瓷退火匣钵

授权

摘要

本实用新型公开一种氮化铝陶瓷退火匣钵，包括箱体、门框、门体以及若干隔板，门框固定在箱体的一端，门体可滑动地设于箱体上，通过滑动门体能够对箱体进行打开/关闭；箱体内的两侧面设有若干插槽，若干隔板可拆卸地设于插槽内，若干隔板之间形成若干可放置基板的退火槽。解决了以往氮化铝陶瓷退火制具易变形、密封性差、装片不灵活、空间利用小的问题。在保证其密封性好、气氛稳定、温场均匀、装片灵活、等特点，同时，兼顾了其不易形变，坚固耐用的功能。能大幅增加翘曲变形修正率，减少白边、白点等不良品的产生，同时也减少了抚平失效的概率，有效的提高了此工序的合格率、降低了生产成本，大大提高了空间的利用率有效提高该工段生产效率。

基本信息

专利标题：

氮化铝陶瓷退火匣钵

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921004179.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-28

授权号：

CN210180179U

授权日：

2020-03-24

发明人：

李丽霞孙伟陈家淦

申请人：

无锡海古德新技术有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市锡山经济开发区东部科技园1号

代理机构：

北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

陈娟

优先权：

CN201921004179.2

主分类号：

F27D5/00

IPC分类号：

F27D5/00