氧化铍陶瓷基片的匣钵结构
授权
摘要

本实用新型公开了氧化铍陶瓷基片的匣钵结构,包括换热器以及匣钵架,所述换热器设置有两个气体入口以及两个气体出口,两个所述气体入口分别连接有空气入管以及毒气出管,两个所述气体出口分别连接有净气入管以及废气出管,所述废气出管的另一端固定连接有废气收集箱;所述匣钵架的下侧壁固定连接有支撑底座,所述支撑底座的外侧壁固定连接有密封垫,所述密封垫的外侧壁活动连接有外保护套,所述匣钵架的内侧壁活动连接有内保护套。本实用新型中,换热器可以将匣钵架中的毒气抽出,并且将毒气与空气进行换热,将换热后的空气导入匣钵架中,将换热的毒气导入废气收集箱中,进而使得毒气得到了有效处理,提高了安全性。

基本信息
专利标题 :
氧化铍陶瓷基片的匣钵结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220005330.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-01-04
授权号 :
CN216694486U
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
江树昌陈光明张健凌张绍甫
申请人 :
中鸣(宁德)科技装备制造有限公司
申请人地址 :
福建省宁德市霞浦县经济开发区工业北路2号
代理机构 :
东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
刘汉民
优先权 :
CN202220005330.X
主分类号 :
F27D5/00
IPC分类号 :
F27D5/00  F27D17/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D5/00
炉内装料的支架、屏板或类似装置
法律状态
2022-06-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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