一种绝缘管状工件的内镀装置
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型提供了一种绝缘管状工件的内镀装置,属于内镀装置技术领域;解决了绝缘工件内表面镀膜不便的问题,其技术方案要点是,包括真空室与工件,工件外部环设有表面磁场,真空室上设置有真空法兰,真空法兰上安装有阴极弧源法兰与阴极弧源磁场,工件内设有)辅助阳极与旋转辅助阴极,旋转辅助阴极靠近工件内壁且围绕辅助阳极做圆周运动;本实用新型由工件内部的不断做圆周运动的负极与悬停的正极产生所产生的电场作用下,等离子体扫射到工件内壁,形成致密的镀膜层,本装置对绝缘管状工件作用良好,解决的常规内镀装置只能对金属管状工件镀膜的缺点。

基本信息
专利标题 :
一种绝缘管状工件的内镀装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921014795.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-02
授权号 :
CN210287498U
授权日 :
2020-04-10
发明人 :
廖斌罗军庞盼陈琳唐杰
申请人 :
深圳南科超膜材料技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-76号银星智界3号楼(深国电大厦)601
代理机构 :
深圳市宾亚知识产权代理有限公司
代理人 :
黄磊
优先权 :
CN201921014795.6
主分类号 :
C23C14/32
IPC分类号 :
C23C14/32  C23C14/04  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法;蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2021-12-21 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/32
登记生效日 : 20211209
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳南科超膜材料技术有限公司
变更后权利人 : 深圳戴尔蒙德科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-76号银星智界3号楼(深国电大厦)601
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市福田区福保街道福保社区桃花路6号腾飞工业大厦A栋3层301-303
2020-04-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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