本实用新型公开了用于半导体设备的安装位检测装置，包括检测环体，检测环体的内壁上连接有连接柱，连接柱的顶部中间开设有活动槽，检测环体的底部连接有衔接立柱，衔接立柱远离检测环体的一端连接有放置板，放置板的内壁上连接有辅助撑板，本实用新型所达到的有益效果是：通过辅助撑板能够使连接柱自身的稳定性更强，通过将放置板安放在环体结构上，在放置前，需要将放置板的底部和环体结构擦拭干净，避免微尘影响检测结果，水平检测仪为液位检测仪，通过观察液位的不同能够直观的了解到环体结构安装的水平状态，能够及时的做出相对应的调整，衔接立柱为竖立的水平检测柱制作，通过衔接立柱能够与水平检测仪配合，使检测的水平度更加精准。