多任务清洗装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种多任务清洗装置，所述多任务清洗装置包括壳体，壳体表面设置有液体输入端口、气体输入端口及至少两个输出端口；壳体内设置有气体总管道和液体总管道，液体总管道的一端连接液体输入端口，另一端与多个第一支管道的输入端连接，气体总管道的一端连接气体输入端口，另一端与多个第二支管道的输入端连接，每个第一支管道和第二支管道上均设置有开关阀；每个第一支管道的输出端和第二支管道的输出端分别连接三通管件的两个输入端，每个三通管件的输出端通过一个输出管道连接一个输出端口。本实用新型提供的多任务清洗装置可以同时执行多个清洗任务，相对于逐个对清洗对象进行清洗的方法，可以显著提高清洗效率，缩短清洗时间。

基本信息

专利标题：

多任务清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921026467.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-03

授权号：

CN210647481U

授权日：

2020-06-02

发明人：

王永昌陈章晏丁洋崔亚东颜超仁

申请人：

德淮半导体有限公司

申请人地址：

江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司

代理人：

王宏婧

优先权：

CN201921026467.8

主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/08 F26B21/00