一种Micro-OLED产品光学检测设备

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摘要

本实用新型涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种Micro‑OLED产品光学检测设备，光学检测设备包括检测系统、控制系统和显示系统；检测系统包括过滤器，过滤器与光学检测暗室连接，其内部包括相互连接的分光式光谱仪和CCD；分光式光谱仪与三轴运动模组连接；光学检测暗室的底侧设置有探针台；检测系统与控制系统信号连接，控制系统包括控制柜、电气控制模块、SMU模块、工业电脑和CCD控制模块。本实用新型首次提供了一种Micro‑OLED产品光学检测设备配合测试方法能够对Micro‑OLED晶圆片进行检测，具有检查分辨率高，测试效力可达到平均3‑4秒/die，设备可靠性和稳定高，在Micro‑OLED产品的光学检测上具有重要的实际应用价值。

基本信息

专利标题：

一种Micro-OLED产品光学检测设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921027553.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-03

授权号：

CN210166323U

授权日：

2020-03-20

发明人：

王世锐林志阳

申请人：

厦门特仪科技有限公司

申请人地址：

福建省厦门市同安区美溪道思明工业园79号4楼之一

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921027553.0

主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/95