本实用新型主要应用于单晶硅或多晶硅棒/硅块料加热破碎的技术领域，特别涉及一种基于工业微波加热破碎硅料的连续生产装置，包括隧道式微波加热段、冷介质骤冷段及隧道式微波干燥段及传送装置，传送装置按照输送方向依次贯穿微波加热段、冷介质骤冷段及微波干燥段。物料通过履带式传输装置，顺序通过微波加热段、冷介质骤冷段和微波干燥段。以微波作为能量来源，利用微波在硅料内部均匀转换成热能的特性，在较低环境温度下，加热硅料。然后将加热后的硅料浸入冷却介质，再经过微波干燥，使硅料干燥。干燥后的硅料经轻微击打，可碎成均匀的、符合下游工艺需求的碎块。