本实用新型主要应用于单晶硅或多晶硅棒/硅块料加热破碎的技术领域，特别涉及一种硅料微波加热装置，包括机架，机架上设置水槽和加热腔，水槽上方设有置物篮，置物篮连接升降装置，升降装置安装在移动装置上，加热腔外侧面设置微波发射源，加热腔包括上腔体和下腔体，上腔体和下腔体设置为开合式结构。通过安装在微波加热腔体外腔壁上的微波发射源，发射微波到内腔，其中部分微波被物料吸收转化成热能，使硅料升温；同时未被利用的微波经反射被布置在内腔壁上的吸波材料吸收，转化为热能，通过热辐射对硅料二次加热，同时可保持腔体温度，减少加热后的高温硅料对较低温度的内墙壁的热辐射。通过以上措施，可极大提高加热效率，降低能耗。