一种硅料微波真空烘干机
授权
摘要
本实用新型公开一种硅料微波真空烘干机，包括用于清洗硅料的硅料清洗箱、多个用于烘干清洗后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料清洗箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与真空烘干箱连通的真空泵，真空烘干箱上设置有若干个用于对真空烘干箱内的硅料进行加热的微波加热装置。该真空烘干机烘干速度快、烘干效果好、效率高，微波加热装置的设置使硅料的受热更加均匀。
基本信息
专利标题 ：
一种硅料微波真空烘干机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021598928.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
CN212778216U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
吕磊
申请人 ：
华磊寰球工业装备（青岛）股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市李沧区瑞金路61号
代理机构 ：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
于晶晶
优先权 ：
CN202021598928.1
主分类号 ：
F26B1/00
IPC分类号 ：
F26B1/00 F26B5/04 F26B9/06 F26B23/08 F26B25/02 F26B25/06 B08B3/10
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B1/00
促进固体材料或制品干燥的初步处理
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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