一种全自动硅料真空烘干机
授权
摘要
本实用新型公开了一种全自动硅料真空烘干机，该真空烘干机包括用于水浴浸泡硅料以提高硅料温度的硅料水浴箱、多个用于烘干水浴浸泡后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料水浴箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置。该真空烘干机将待烘干的硅料经水浴浸泡提高温度后置于真空条件下，利用真空条件下水沸点降低的原理，使带有余温的硅料表面残留的水分快速蒸发并经由真空泵组抽出，实现快速烘干的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种全自动硅料真空烘干机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020702230.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-30
授权号 ：
CN212778208U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
吕磊
申请人 ：
华磊寰球工业装备（青岛）股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市李沧区瑞金路61号
代理机构 ：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
于晶晶
优先权 ：
CN202020702230.3
主分类号 ：
F26B1/00
IPC分类号 ：
F26B1/00 F26B5/04 F26B9/06 F26B25/00 F26B25/18
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B1/00
促进固体材料或制品干燥的初步处理
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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