振动传感器和音频设备
授权
摘要
本实用新型提供了振动传感器和音频设备，振动传感器包括带侧壁的腔体、安装于所述侧壁的弹性膜及具有背腔的MEMS芯片，所述MEMS芯片收容于所述腔体内并安装于弹性膜上，所述侧壁包括与所述弹性膜贴合的侧面，所述侧面向远离所述MEMS芯片方向凹陷形成凹腔，所述弹性膜覆盖所述凹腔且所述弹性膜上开设有通孔，所述通孔连通所述凹腔与所述MEMS芯片的背腔。本实用新型振动传感器高度小且灵敏度高。
基本信息
专利标题 ：
振动传感器和音频设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921052481.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-05
授权号 ：
CN210093551U
授权日 ：
2020-02-18
发明人 ：
张金宇
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤喜友
优先权 ：
CN201921052481.5
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04
法律状态
2020-02-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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