一种阳极组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种阳极组件。所述阳极组件包括导电基体和设于所述导电基体上的阳极本体,所述导电基体的表面具有保护层。通过在导电基体表面设置保护层,有效避免了导电基体在电镀过程中由于发生氧化和钝化导致电阻发生变化,提高了电路电流分布的均匀性和电镀工艺的稳定性,从而提高了电镀工件电镀层的均匀性。
基本信息
专利标题 :
一种阳极组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921059123.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-08
授权号 :
CN211522350U
授权日 :
2020-09-18
发明人 :
史蒂文·贺·汪
申请人 :
新阳硅密(上海)半导体技术有限公司
申请人地址 :
上海市松江区思贤路3600号
代理机构 :
上海弼兴律师事务所
代理人 :
王卫彬
优先权 :
CN201921059123.7
主分类号 :
C25D17/10
IPC分类号 :
C25D17/10 C25D3/38
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/10
电极
法律状态
2020-09-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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