一种阳极盒、阳极盒组件及水平电镀装置

授权

摘要

本实用新型提供一种阳极盒、阳极盒组件及水平电镀装置，包括主体和隔膜，主体呈框架结构，框架围合形成容置腔，容置腔内适于放置阳极件，隔膜上密布多个第一通孔，隔膜设置在主体的框架结构的一侧上，隔膜上至少背向阳极件的一侧表面呈朝向阳极件凹陷的曲面。该阳极盒在电镀槽体中放置在待处理工件下方，且隔膜位于待处理工件的下表面和阳极件之间，由于隔膜上朝向待处理工件的下表面的一侧表面为曲面，因此，阳极件在电镀液中发生反应产生的气泡在上升至隔膜的表面后，由曲面的凹陷区沿隔膜表面向曲面的最高点转移，曲面的凹陷区内不存在气泡，正对该凹陷区的待处理工件不会受到气泡的影响，保证电镀的均匀性和稳定性。

基本信息

专利标题：

一种阳极盒、阳极盒组件及水平电镀装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022158910.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-27

授权号：

CN213739768U

授权日：

2021-07-20

发明人：

李建中尚庆雷肖体红

申请人：

昆山东威科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市巴城镇东定路东侧

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司

代理人：

安志娇

优先权：

CN202022158910.6

主分类号：

C25D17/12

IPC分类号：

C25D17/12 C25D17/00 C25D21/04 C25D7/00