一种外延炉废气处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种外延炉废气处理装置，包括处理装置本体，所述处理装置本体的内部固定连接有分割板，所述分割板的顶部活动连接有滤箱，所述分割板的顶部活动连接有与滤箱底部接触的支撑板，所述支撑板底部的四角均固定连接有支架，所述支架的底端贯穿至支撑板的底部并固定连接有套板，所述处理装置本体内壁的左侧与右侧均固定连接有连接块，所述连接块的内部通过销轴活动连接有摆杆，所述摆杆远离连接块的一端固定连接有位于套板内部的受力杆。该外延炉废气处理装置，解决了现有的废气处理装置不便于对净化材料进行更换，导致废气处理装置净化效率降低的问题，该外延炉废气处理装置，具备便于更换净化材料等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种外延炉废气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921081992.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-11
授权号 ：
CN210751794U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
沈恒文林旭斌金修领吉双平郝小峰刘彤辉
申请人 ：
江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区青龙山联合工业园108号
代理机构 ：
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄冠华
优先权 ：
CN201921081992.X
主分类号 ：
B01D46/42
IPC分类号 ：
B01D46/42 B01D46/30
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/42
辅助设备及其操作
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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