一种脉冲碳离子激发源装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种脉冲碳离子激发源装置，包括阳极、第一石墨电极、第二石墨电极、第三石墨引弧和作为消耗性阴极的石墨靶材；从上往下依次设置，且中心在一条直线上；当真空室内达到预定真空度时，分别在第一石墨电极与第三石墨引弧、第一石墨电极与石墨靶材、石墨靶材与阳极之间施加不同电位差；在第一石墨电极与第二石墨电极之间施加一定脉冲直流电压，在第一石墨电极与第二石墨电极之间燃弧，基于冷阴极真空电弧放电原理，依靠设置的三级引弧电极依次产生电离，在引弧电极和阴极之间建立强电场，形成场致电子发射，最终实现阴极和阳极两个主电极之间在低电压下稳定电弧放电。
基本信息
专利标题 ：
一种脉冲碳离子激发源装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921086981.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-12
授权号 ：
CN210438827U
授权日 ：
2020-05-01
发明人 ：
蹤雪梅冯森刘威
申请人 ：
江苏徐工工程机械研究院有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市金山桥经济技术开发区驮蓝山路26号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘艳艳
优先权 ：
CN201921086981.0
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32 C23C14/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2020-05-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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