微波加热激发低温等离子体方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种微波加热激发低温等离子体的方法，其特征在于工艺过程及参数如下：将由耐高温陶瓷制成的介质感热器放入微波加热系统中；馈入能量，使介质感热器温度在1000℃～2000℃之间；初始激励场强|E|在102v/cm～3×104v/cm，使介质感热器内热态气体放电，形成等离子体。本发明可以使得微波激发的大体积等离子体能在常压，甚至是较高气压大流量的条件下实现。
基本信息
专利标题 ：
微波加热激发低温等离子体方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1108858A
申请号 ：
CN94110112.6
公开（公告）日 ：
1995-09-20
申请日 ：
1994-03-15
授权号 ：
CN1099220C
授权日 ：
2003-01-15
发明人 ：
张劲松沈学逊杨永进曹丽华
申请人 ：
中国科学院金属研究所
申请人地址 ：
110015辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
代理机构 ：
沈阳科苑专利代理有限责任公司
代理人 ：
张晨
优先权 ：
CN94110112.6
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46
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法律状态
2005-05-18 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
2003-01-15 ：
授权
1995-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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