一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置

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摘要

本实用新型公开了一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置，包括微波发生器、微波波导管、非金属放电管，还包括高压电源、金属电极和气旋装置，微波发生器发射微波，在微波波导管内产生微波电场；非金属放电管固定在微波波导管内；高压电源连接两根金属电极；两根金属电极对称弯折分布在气旋装置中；气旋装置出风口与非金属放电管的一端相对。所述两根金属电极的端部未伸入到微波波导管内部。所述非金属放电管的一端固定在气旋装置表面，另一端伸出至微波波导管外。本实用新型基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置，激发成功率高、激发稳定、装置简单、使用方便，且能够实现大气压下微波等离子体的激发和维持，能够大规模应用于工业生产中。

基本信息

专利标题：

一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022040970.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-17

授权号：

CN212324445U

授权日：

2021-01-08

发明人：

夏道路张贵新揭子尧刘程

申请人：

清华苏州环境创新研究院;清华大学

申请人地址：

江苏省苏州市高新区科技城锦峰路158号16号楼

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

范晴

优先权：

CN202022040970.8

主分类号：

H05H1/24

IPC分类号：

H05H1/24 H05H1/46