具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置

授权

摘要

本实用新型的具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置属于微波能应用技术领域。所述的微波耦合等离子体发生装置由微波同轴谐振腔部分和磁场发生部分组成；所述的微波同轴谐振腔部分包括外导体(1)、微波天线(2)、内导体(3)、中管(4)、内管(5)、样品管(6)和阻抗匹配筒(7)，所述的磁场发生部分由励磁下部(8)、励磁中部(9)、励磁上部(10)构成。相比于相有技术，本实用新型具有提高等离子体的电子密度、提高微波能的利用效率、提高等离子体的原子化能力等优点。

基本信息

专利标题：

具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020996573.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-03

授权号：

CN213426550U

授权日：

2021-06-11

发明人：

曹彦波

申请人：

吉林大学

申请人地址：

吉林省长春市前进大街2699号

代理机构：

长春吉大专利代理有限责任公司

代理人：

王恩远

优先权：

CN202020996573.5

主分类号：

H05H1/46

IPC分类号：

H05H1/46 H05H1/10