多栅离子能量分析仪器及其探头
授权
摘要
本实用新型公开了一种多栅离子能量分析仪器及其探头，设置所述探头的栅网的网孔孔径小于两倍的德拜半径，且所述栅网中网孔孔径为所述栅网的网丝直径的10‑15倍。所述栅网由导体网丝编制而成，网孔中心电势势必比网丝电位低，会产生横向电场，网孔越大，这种效应越明显，由于等离子的德拜屏蔽作用，为了保证栅网竖向电场的有效性，设置所述探头的栅网的网孔孔径小于两倍的德拜半径，同时设置所述栅网中网孔孔径为所述栅网的网丝直径的10‑15倍，使得栅网网孔小而密，在保证透过率的同时，能够有效降低横向电场影响。
基本信息
专利标题 ：
多栅离子能量分析仪器及其探头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921125490.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-17
授权号 ：
CN209896025U
授权日 ：
2020-01-03
发明人 ：
程健翟红雨王梦永
申请人 ：
中国科学技术大学
申请人地址 ：
安徽省合肥市包河区金寨路96号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张静
优先权 ：
CN201921125490.2
主分类号 ：
H01J49/02
IPC分类号 ：
H01J49/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J49/00
粒子分光仪或粒子分离管
H01J49/02
零部件
法律状态
2020-01-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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