一种具有对称结构的单晶硅差压传感器
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种具有对称结构的单晶硅差压传感器,属于敏感元器件技术领域。一种具有对称结构的单晶硅差压传感器,包括烧结底座、单晶硅芯片、芯体座、芯体管路、基座、基座管路、中心膜片、中心腔室、隔离膜片、隔离腔室;所述芯体管路、基座管路、中心腔室、隔离腔室内均设置填充液;所述芯体管路相对于单晶硅芯片成对称分布,所述基座管路、中心腔室、隔离腔室相对于中心膜片呈轴对称分布,所述腔室中填充液相等。本实用新型具有如下优点:①腔室中填充液相等,传感器温度漂移小,综合性能好;②管路设计简洁,加工方便,成本低。

基本信息
专利标题 :
一种具有对称结构的单晶硅差压传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921150804.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-22
授权号 :
CN209296208U
授权日 :
2019-08-23
发明人 :
高峰马志强
申请人 :
南京沃天科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江宁区滨江开发区闻莺路5号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921150804.4
主分类号 :
G01L13/02
IPC分类号 :
G01L13/02  G01L19/00  G01L19/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L13/00
测量两个或更多个流体压力差值的设备或仪表
G01L13/02
应用弹性形变构件或活塞为传感元件的
法律状态
2021-02-02 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01L 13/02
变更事项 : 专利权人
变更前 : 南京沃天科技有限公司
变更后 : 南京沃天科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 211162 江苏省南京市江宁区滨江开发区闻莺路5号
变更后 : 211162 江苏省南京市江宁区滨江开发区闻莺路5号
2019-08-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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