一种高稳定性单晶硅压差传感器
授权
摘要
本实用新型涉及压差传感器技术领域，具体为一种高稳定性单晶硅压差传感器，包括传感器壳体，所述传感器壳体的一侧为传感器正压腔，所述传感器壳体的另一侧为传感器负压腔，所述传感器正压腔的一侧固定连接有第一隔离波纹片，所述传感器负压腔的一侧固定连接有第二隔离波纹片，所述传感器壳体的顶部固定连接有盖板，所述盖板的中部固定连接有传感器连接通。本实用新型的优点在于：大多数的装置在高强度和复杂的测量工作中因为精确度和稳定性不高无法工作，本装置中通过第一进油管和第二进油管里注入硅油，硅油把传感器正压腔和传感器负压腔注满，压差传感器可以通过硅油无压力的传递数据，从而提高了压差传感器的性能和精准度。
基本信息
专利标题 ：
一种高稳定性单晶硅压差传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122632463.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-31
授权号 ：
CN216746547U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
王萍
申请人 ：
上海凌高精密机械有限公司
申请人地址 ：
上海市金山区山阳镇山富东路55弄1号
代理机构 ：
上海中外企专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
孙益青
优先权 ：
CN202122632463.8
主分类号 ：
G01L13/00
IPC分类号 ：
G01L13/00 G01L19/00 G01L19/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L13/00
测量两个或更多个流体压力差值的设备或仪表
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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