分体式烧结炉热场钢笼结构
授权
摘要
本实用新型涉及半导体加工设备领域。分体式烧结炉热场钢笼结构，包括一钢笼主体，钢笼主体包括主钢笼，主钢笼包括上不锈钢圈、下不锈钢圈以及设置在上不锈钢钢圈和下不锈钢圈之间的不锈钢网；钢笼主体还包括设置在顶端的端部子钢笼，端部子钢笼与主钢笼可拆卸连接；钢笼主体还包括两个周向排布的周向子钢笼，两个周向子钢笼均设置在上不锈钢圈与下不锈钢圈之间；两个周向子钢笼分别为第一周向子钢笼与第二周向子钢笼，第一周向子钢笼用于固定在烧结炉腔体的炉门的内侧，第二周向子钢笼与主钢笼可拆卸连接；周向子钢笼以及主钢笼上均开设有用于固定热场外层的毡圈的通孔。本专利通过优化钢笼主体的结构，拆卸方便。
基本信息
专利标题 ：
分体式烧结炉热场钢笼结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921160319.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-23
授权号 ：
CN210602792U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
刘伟贺贤汉刘海刘豫新
申请人 ：
上海汉虹精密机械有限公司
申请人地址 ：
上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号
代理机构 ：
上海申浩律师事务所
代理人 ：
龚敏
优先权 ：
CN201921160319.5
主分类号 ：
F27B21/08
IPC分类号 ：
F27B21/08
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B21/00
开式或无盖烧结设备；其他类似结构的热处理设备
F27B21/08
零部件、附件或烧结或类似设备特有的装置
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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