一种真空烤炉
授权
摘要
本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种真空烤炉，用于对石墨盘进行加热烘烤，至少包括绝缘的烤架、放置烤架的腔体、控制单元，所述烤架包括底座以及位于底座上的复数个放置石墨盘的槽体，其特征在于：所述底座内设置有电磁线圈和气体通道，所述槽体外具有含磁金属涂层，所述控制单元包括与电磁线圈连接的高频产生器。本实用新型采用高频磁场对石墨盘加热，避免加热棒加热异常；提升了对石墨盘的清洁和冷却效果。
基本信息
专利标题 ：
一种真空烤炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921168253.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-24
授权号 ：
CN210546795U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
张飞郭晃亨李政鸿张佳胜林兓兓张家豪
申请人 ：
安徽三安光电有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921168253.4
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B9/08 C30B25/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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