清洗槽及修整器清洗系统
授权
摘要
本实用新型提供一种清洗槽及修整器清洗系统。清洗槽包括:支撑体,所述支撑体包括支撑柱和套设于所述支撑柱上的支撑面板;壳体,所述壳体具有环形侧壁且呈中空状;所述壳体的水平面尺寸与所述支撑面板的水平面尺寸相匹配;在所述清洗槽工作过程中,所述壳体套设于所述支撑柱上;第一驱动装置,与所述壳体相连接,用于驱动所述壳体沿所述支撑柱上下移动。本实用新型通过优化的结构设计,可减少因人工手动清洗清洗槽带来的人力成本增加;同时因确保清洗槽的清洁,因而在用于修整器的清洗过程中可提高修整器的清洁度,进而改善研磨垫的清洁度,最终实现减少晶圆污染,提高化学机械研磨效果的目的。
基本信息
专利标题 :
清洗槽及修整器清洗系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921171920.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-24
授权号 :
CN210497417U
授权日 :
2020-05-12
发明人 :
马成斌
申请人 :
上海新昇半导体科技有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区泥城镇新城路2号24幢C1350室
代理机构 :
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 :
余明伟
优先权 :
CN201921171920.4
主分类号 :
B08B3/04
IPC分类号 :
B08B3/04 B08B13/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
法律状态
2020-05-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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